序號(hào)

名     稱(chēng)

主要技術(shù)指標(biāo)

單位

數(shù)量

推 薦 廠(chǎng) 家

1

精密隔振光學(xué)平臺(tái)

4支撐，平面度不大于0.05mm/平米；表面粗糙度0.8-1.6微米；固有頻率8-10HZ；振幅不大于5微米

個(gè)

2

卓立漢光、大恒、江西連勝、上海理工大學(xué)附屬工廠(chǎng)

精密隔振光學(xué)平臺(tái)

4支撐，平面度不大于0.05mm/平米；表面粗糙度0.8-1.6微米；固有頻率8-10HZ；振幅不大于5微米

個(gè)

1

隔振光學(xué)平臺(tái)

（附帶輪的平臺(tái)支架）

4支撐，平面度不大于0.1mm/600mm;

平臺(tái)支架：中心高700mm，支架帶4個(gè)腳輪，移動(dòng)方便。

個(gè)

1

2

精密電控平移臺(tái)

100mm行程精密增強(qiáng)型電控平移臺(tái)，水平方向使用，重復(fù)定位精度＜3um，回程間隙小于5um，運(yùn)動(dòng)直線(xiàn)度：＜10um/100mm;運(yùn)動(dòng)平行度：＜15um/100mm;

個(gè)

1

精密電控平移臺(tái)

200mm行程精密電控平移臺(tái)，水平使用重復(fù)定位精度＜3um，承載＞10KG

個(gè)

1

精密電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)

傳動(dòng)比：180：1；＜重復(fù)定位精度0.005°

個(gè)

1

電移臺(tái)控制箱

三維42步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制器（最大8細(xì)分）；與上述電位移及旋轉(zhuǎn)臺(tái)配合使用，可選脈沖速度：400pps~18K pps，RS232標(biāo)準(zhǔn)接口；8位LED顯示；帶配套控制軟件，方便二次開(kāi)發(fā)，可自編程

個(gè)

1

3

精密平移臺(tái)

13mm精密平移臺(tái)，中央分厘卡驅(qū)動(dòng)，可豎直使用，最小讀數(shù)0.01，靈敏度：0.001mm

個(gè)

2

可調(diào)光闌

光闌孔徑在 1.5mm至 22mm之間連續(xù)可調(diào)，可單獨(dú)使用

個(gè)

1

可調(diào)光闌座

與上述光闌配裝，可與接桿相連使用

個(gè)

1

4

針孔光闌座

與下面所選針孔光闌及精密空間濾波器配合使用

個(gè)

3

針孔光闌

5um、10um、100um各孔徑各一個(gè)，與所選針孔光闌座配合使用

個(gè)

3

精密空間濾波器

可與所選針孔光闌座及光闌配套使用，物鏡調(diào)節(jié)范圍13mm，分厘卡驅(qū)動(dòng)，針孔調(diào)節(jié)范圍：兩維不小于±1.5mm；調(diào)整精度：0.005mm，配帶標(biāo)準(zhǔn)接口10X，40X顯微物鏡各1個(gè)

個(gè)

1