陜西省薄膜技術(shù)與光學(xué)檢測(cè)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室有三個(gè)主要研究方向：①薄膜與等離子體技術(shù)；②光學(xué)制造及檢測(cè)技術(shù)；③微光電器件制造及應(yīng)用技術(shù)。主要研究?jī)?nèi)容包括光學(xué)薄膜制造技術(shù)；脈沖真空等離子體鍍膜技術(shù)與設(shè)備；離子束濺射技術(shù)與設(shè)備；非球面加工、檢測(cè)技術(shù)與設(shè)備；薄膜參數(shù)精密測(cè)試技術(shù)與設(shè)備；常溫?zé)岢上癫牧吓c器件的制造、檢測(cè)與應(yīng)用技術(shù)；多功能傳感器集成制造技術(shù)；MEMS與MOEMS工藝技術(shù)及其應(yīng)用等。
    根據(jù)“開(kāi)放、流動(dòng)、聯(lián)合、競(jìng)爭(zhēng)”的運(yùn)行機(jī)制，實(shí)驗(yàn)室重視多學(xué)科、多專(zhuān)業(yè)的相互滲透，鼓勵(lì)相關(guān)學(xué)科的相互結(jié)合和集成。實(shí)驗(yàn)室熱忱歡迎和邀請(qǐng)各有關(guān)領(lǐng)域的國(guó)內(nèi)外科研人員來(lái)實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行合作研究。
1.開(kāi)放基金申請(qǐng)對(duì)象、申請(qǐng)方法、基金的使用和管理

詳見(jiàn)附件1（陜西省薄膜技術(shù)與光學(xué)檢測(cè)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放研究基金實(shí)施細(xì)則）。
2.開(kāi)放基金說(shuō)明
    1)開(kāi)放基金主要資助與本實(shí)驗(yàn)室研究方向相關(guān)的課題，2009-2010年度資助具體方向和經(jīng)費(fèi)額度參見(jiàn)本指南第4條。
    2)本年度每項(xiàng)目課題研究期限不超過(guò)二年，執(zhí)行期間為2010年1月-2011年12月。
    3) 申請(qǐng)人應(yīng)定期將研究進(jìn)展通報(bào)本實(shí)驗(yàn)室，本實(shí)驗(yàn)室將根據(jù)進(jìn)展情況有權(quán)終止資助進(jìn)展不好的研究課題。
    4) 凡經(jīng)本實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放基金資助的課題，其研究成果由本實(shí)驗(yàn)室及研究者所在單位共享。由開(kāi)放基金資助課題發(fā)表的論文，應(yīng)注明“本課題由陜西省薄膜技術(shù)與光學(xué)檢測(cè)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放基金資助”(The project was supported by Open Fund of Shaanxi Province Key Laboratory of Thin Films Technology and Optical Test，Xi’an Technological University)。

 3.開(kāi)放基金申請(qǐng)程序
    1)申請(qǐng)人根據(jù)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放基金的主要資助方向(本指南第4條)填寫(xiě)“陜西省薄膜技術(shù)與光學(xué)檢測(cè)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放基金課題申請(qǐng)書(shū)” （見(jiàn)附件2）或者“大型儀器設(shè)備開(kāi)放申請(qǐng)表” （見(jiàn)附件3）或者“訪(fǎng)問(wèn)學(xué)者申請(qǐng)表”（見(jiàn)附件4）一式三份。經(jīng)所在單位主管領(lǐng)導(dǎo)同意后，向本實(shí)驗(yàn)室提出申請(qǐng)。本年度開(kāi)放基金申請(qǐng)截止日期為2009年10月30日，逾期不予受理。
    2)實(shí)驗(yàn)室組織有關(guān)專(zhuān)家對(duì)提交的申請(qǐng)書(shū)進(jìn)行評(píng)審，由實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會(huì)確定資助項(xiàng)目和金額，2009年12月30日前書(shū)面通知獲得資助的申請(qǐng)人。
    3)申請(qǐng)書(shū)可從網(wǎng)上直接下載(見(jiàn)附件)，也可打電話(huà)、發(fā)電子郵件或?qū)懶潘魅　?SPAN lang="EN-US">
4.2009-2010年度開(kāi)放基金資助范圍

本年度的項(xiàng)目計(jì)劃分為三類(lèi)：實(shí)驗(yàn)室研究方向相關(guān)的應(yīng)用基礎(chǔ)研究項(xiàng)目、實(shí)驗(yàn)室大型設(shè)備開(kāi)放項(xiàng)目、訪(fǎng)問(wèn)學(xué)者項(xiàng)目。

①應(yīng)用基礎(chǔ)研究項(xiàng)目：

本類(lèi)研究項(xiàng)目資助經(jīng)費(fèi)額度視研究?jī)?nèi)容確定，原則上不超過(guò)1萬(wàn)元/項(xiàng)。

1）等離子體、離子束技術(shù)的應(yīng)用研究方向

• 等離子體、離子束測(cè)試技術(shù)研究；

• 等離子體、離子束技術(shù)在光學(xué)加工中的應(yīng)用；

• 等離子體、離子束技術(shù)在光學(xué)薄膜制造過(guò)程中的應(yīng)用研究；

• 用于離子注入的高能量離子源技術(shù)研究；

2）類(lèi)金剛石薄膜制造及應(yīng)用技術(shù)研究方向

• DLC薄膜在金屬材料表面改性方面的應(yīng)用；

• DLC薄膜微觀(guān)結(jié)構(gòu)分析研究；

• 探索 DLC薄膜光學(xué)常數(shù)分布變化規(guī)律。

3）高精密光學(xué)零件加工及檢測(cè)技術(shù)研究方向

• 微光學(xué)元件制造及檢測(cè)技術(shù)；

• 磁流變拋光液的研制、分離與回收技術(shù)研究；

• 光學(xué)元件損耗機(jī)理研究；

• 光學(xué)元件檢測(cè)方法理論研究。

和以上方向相關(guān)課題也可申報(bào)。

②實(shí)驗(yàn)室大型設(shè)備開(kāi)放項(xiàng)目：

實(shí)驗(yàn)室資助大型設(shè)備開(kāi)放項(xiàng)目的單項(xiàng)經(jīng)費(fèi)不超過(guò)3千元，開(kāi)放設(shè)備可參見(jiàn)實(shí)驗(yàn)室網(wǎng)頁(yè)相關(guān)介紹。

1）高精度光學(xué)薄膜檢測(cè)

• 變角度多光譜橢圓偏振儀測(cè)試；

• 付立葉變換紅外光譜測(cè)試；

• 紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)測(cè)試。

2）精密光學(xué)元件與系統(tǒng)檢測(cè)

• 光學(xué)元件面形檢測(cè)（干涉儀，接觸式輪廓儀）；

• 光學(xué)元件表面粗糙度檢測(cè)；

• 光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)試。

3）光學(xué)元件制造

• 光學(xué)薄膜物理氣相沉積設(shè)備；

• 光學(xué)元件制造設(shè)備（非球面銑磨，精磨，拋光）

4）薄膜制造

• 光學(xué)薄膜制造；

• DLC薄膜制造；

• 磁控濺射技術(shù)制備薄膜；

• 電弧技術(shù)（磁過(guò)濾電弧、脈沖電?。┲苽浣饘俦∧ぃ?SPAN lang="EN-US">

③訪(fǎng)問(wèn)學(xué)者項(xiàng)目

實(shí)驗(yàn)室接受?chē)?guó)內(nèi)外訪(fǎng)問(wèn)學(xué)者。

本年度接受人數(shù)：1人；

總經(jīng)費(fèi)數(shù)：不超過(guò)4萬(wàn)元。

5.聯(lián)系方式：

陜西省薄膜技術(shù)與光學(xué)檢測(cè)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，西安工業(yè)大學(xué)校內(nèi)教5樓辦公室

郵寄地址：西安市金花北路4號(hào)45信箱

郵編：710032

聯(lián)系電話(huà)：029-83208210（兼?zhèn)髡妫?SPAN lang="EN-US">

E_mail: [email protected] ; [email protected]

附件1：陜西省薄膜技術(shù)與光學(xué)檢測(cè)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放研究基金實(shí)施細(xì)則

附件2：陜西省薄膜技術(shù)與光學(xué)檢測(cè)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放基金課題申請(qǐng)書(shū)

附件3：大型儀器設(shè)備開(kāi)放申請(qǐng)表

附件4：訪(fǎng)問(wèn)學(xué)者申請(qǐng)表